空気の穴でシリコンウェハーがUV集光ミラーに変わる
Air holes turn silicon wafers into flat UV focusing mirrors for compact optics
シリコンウェハーに空気の穴を開けるだけで、紫外線を集光する平面ミラーとして機能させられるという研究。Hacker Newsでは論文のDOI(UV Mie-void reflective metasurfaces in silicon)が共有され、コンパクトな光学系への応用に注目が集まっている。
- pfdietz
EUV/XUVへの応用は重要だ。なぜならそれらの波長はフォトリソグラフィに非常に有用だからだ。
- altairprime
シリコン中のUVミー空洞反射型メタサーフェス(2026) https://doi.org/10.1117/1.AP.9.1.016002
- bookofjoe
https://unwall.app/phys.org/news/2026-11-air-holes-silicon-w...