Intel beginnt Auslieferung von Chips aus High-NA-EUV-Fertigung
Intel Starts Shipping High-NA EUV Silicon
Intel Foundry hat als erstes Unternehmen weltweit High-NA-EUV-Lithografie in die Massenproduktion überführt. Erste Notebook-Prozessoren der Panther-Lake-Serie (Core Ultra Series 3, Intel 18A) enthalten bereits Schichten, die mit ASMLs 380-Millionen-Dollar-Scanner belichtet wurden – mit gleicher Ausbeute wie bei herkömmlichen EUV-Tools. Der Autor, der die Maschine 2024 in Intels D1X-Fab besichtigte, ordnet ein, warum der Schritt trotz hoher Kosten und physikalischer Einschränkungen ein Meilenstein ist und wie er Intels Roadmap bis 14A/10A prägt.
Intel hat den High-NA-Scanner in einen Knoten eingefädelt, der auch ohne ihn auskäme – so können Mitarbeiter und Prozessrezepte schon lernen, bevor High-NA zur Notwendigkeit wird.