인텔, 세계 최초로 High-NA EUV로 생산한 노트북 칩 출하 시작

Intel Starts Shipping High-NA EUV Silicon

인텔이 ASML의 High-NA EUV 장비를 사용해 일부 레이어를 패터닝한 Panther Lake(코어 울트라 시리즈 3) 노트북 프로세서를 고객에게 출하하기 시작했다. 이는 High-NA EUV가 연구용이 아닌 양산에 처음 사용된 사례로, 인텔은 오리건주 D1X 팹에서 기존 Low-NA EUV와 동등한 수율을 달성했다고 밝혔다. 비용 논란에도 불구하고, 인텔은 18A 노드에 High-NA를 통합해 향후 14A/10A 노드에서 필요한 기술을 선제적으로 확보했다는 평가다.